Περιγραφή προϊόντων
Το ζιρκόνιο (ZrO2), γνωστό και ως διοξείδιο του ζιρκονίου, είναι ένα πολύ σημαντικό κεραμικό υλικό υψηλής απόδοσης. Λόγω του υψηλού σημείου τήξης, της υψηλής αντοχής σε κάμψη και της χημικής σταθερότητας, χρησιμοποιείται ευρέως σε διάφορες βιομηχανικές εφαρμογές, συμπεριλαμβανομένων των πυρίμαχων υλικών, των λειαντικών υλικών και των προηγμένων κεραμικών. Στην τεχνολογία λεπτής μεμβράνης και στη βιομηχανία επικαλύψεων, οι στόχοι οξειδίου του ζιρκονίου είναι ιδιαίτερα κρίσιμοι. Αποτελούν το βασικό υλικό για την επίτευξη επιστρώσεων υψηλής ποιότητας για την παραγωγή βασικών εξαρτημάτων όπως ηλεκτρονικές οθόνες, ηλιακούς συλλέκτες και οπτικές συσκευές.
Εφαρμογή HfO2 Sputtering Target
Εφαρμογή στην τεχνολογία εναπόθεσης λεπτών υμενίων
Οι στόχοι οξειδίου του ζιρκονίου διαδραματίζουν βασικό ρόλο στην τεχνολογία εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης, ειδικά στην παρασκευή υλικών λεπτής μεμβράνης υψηλής απόδοσης και πολλαπλών λειτουργιών. Αυτές οι τεχνολογίες περιλαμβάνουν κυρίως:
1. Ψεκασμός μαγνητρονίων
Αρχή και διαδικασία: Χρησιμοποιώντας τον στόχο ως πηγή εκτόξευσης, ο στόχος βομβαρδίζεται με μαγνητικό πεδίο για τον έλεγχο του πλάσματος σε περιβάλλον κενού, έτσι ώστε τα άτομα ή τα μόρια του στόχου να διασκορπίζονται στο υπόστρωμα για να σχηματίσουν ένα λεπτό φιλμ.
Πλεονεκτήματα των στόχων ζιρκονίας: Παρέχει υψηλής καθαρότητας και ομοιόμορφα λεπτά φιλμ, ιδιαίτερα κατάλληλα για την παραγωγή ηλεκτρονικών και οπτοηλεκτρονικών συσκευών υψηλής απόδοσης.
2. Εξάτμιση δέσμης ηλεκτρονίων
Αρχή και διαδικασία: Χρησιμοποιήστε μια δέσμη ηλεκτρονίων υψηλής ενέργειας για να ακτινοβολήσετε τον στόχο, έτσι ώστε τα άτομα της επιφάνειας να εξατμιστούν και να εναποτεθούν στο ψυχρό υπόστρωμα για να σχηματίσουν ένα λεπτό φιλμ.
Πλεονεκτήματα των στόχων ζιρκονίας: Δυνατότητα παραγωγής λεπτών υμενίων με εξαιρετικές φυσικές ιδιότητες σε χαμηλότερες πιέσεις εργασίας και υψηλότερους ρυθμούς εναπόθεσης.
Ειδικές εφαρμογές στη βιομηχανία ημιαγωγών και οπτοηλεκτρονικών
Η εφαρμογή στόχων ζιρκονίας στις βιομηχανίες ημιαγωγών και οπτοηλεκτρονικών αντανακλάται κυρίως στη χρήση του ως υλικό για υψηλής ποιότητας μονωτικά στρώματα και αντιανακλαστικά στρώματα. Οι συγκεκριμένες εφαρμογές είναι οι εξής:
1. Ως διηλεκτρικό υλικό υψηλής ποιότητας
Λεπτομέρειες εφαρμογής: Σε προηγμένες συσκευές ημιαγωγών, το οξείδιο του ζιρκονίου χρησιμοποιείται ως διηλεκτρικό υλικό υψηλής ποιότητας, το οποίο μπορεί να βελτιώσει αποτελεσματικά την απόδοση των τρανζίστορ.
Τεχνικά πλεονεκτήματα: Το οξείδιο του ζιρκονίου έχει υψηλή διηλεκτρική σταθερά και καλή θερμική σταθερότητα, καθιστώντας το ιδανικό υλικό για την αύξηση της χωρητικότητας του τρανζίστορ και τη μείωση του ρεύματος διαρροής.
2. Οπτικές επιστρώσεις
Λεπτομέρειες εφαρμογής: Το οξείδιο του ζιρκονίου χρησιμοποιείται για την κατασκευή επικαλύψεων για οπτικά εξαρτήματα όπως καθρέφτες και προστατευτικά παράθυρα, παρέχοντας υψηλό δείκτη διάθλασης και εξαιρετική αντοχή στη φθορά.
Τεχνικά πλεονεκτήματα: Οι επικαλύψεις οξειδίου του ζιρκονίου μπορούν να βελτιώσουν την ανθεκτικότητα και την απόδοση των οπτικών συσκευών, ειδικά σε συστήματα λέιζερ υψηλής ισχύος.
3. Εφαρμογή στην τεχνολογία σκληρού δίσκου
Λεπτομέρειες εφαρμογής: Στην κατασκευή μονάδων σκληρού δίσκου, οι στόχοι οξειδίου του ζιρκονίου χρησιμοποιούνται για την παραγωγή φιλμ ανθεκτικών στη φθορά και αντοχής στη διάβρωση.
Τεχνικά πλεονεκτήματα: Αυτά τα φιλμ συμβάλλουν στη βελτίωση της διάρκειας ζωής και της αξιοπιστίας των συσκευών αποθήκευσης δεδομένων.
Προσδιορισμός
|
Ονομα |
Οξείδιο του Hafnium Sputtering Target / HfO2 κεραμικοί στόχοι |
|
Υλικό |
Οξείδιο του αφνίου HfO2 Κεραμικά Υλικά |
|
Καθαρότητα |
99.9%-99.995%, 3N,3N5,4N,4N5,5N,5N5,6N. |
|
Μέγεθος |
Διαπραγματεύσιμος |
|
Χρώμα |
Ασπρο χρώμα |
|
Σχήμα |
Πέλλετ, κόκκοι, Επίπεδες/Στρογγυλές/Πλάκες/Περιστροφικές/Μπάρα, Κατόπιν αιτήματος. |
|
Επιφάνεια |
Γυαλισμένη επιφάνεια |
|
Πυκνότητα Hf |
2227 g/cm3 |
|
Hf Σημείο Τήξεως |
1668 μοίρες |
|
Εφαρμογή |
Επικάλυψη φιλμ PVD, επίστρωση οπτικού λεπτού φιλμ, χρήση βιομηχανίας, διαδικασία, περιοχή ημιαγωγών, πειράματα κ.λπ. |
Δημοφιλείς Ετικέτες: Προμηθευτές στόχων sputtering οξειδίου του αφνίου (hfo2), Κίνα προμηθευτές στόχων sputtering οξειδίου του αφνίου (hfo2), εργοστάσιο


